DIN EN 62047-13-2012 半導體裝置.微機電裝置.第13部分:測量MEMS結構粘接強度的折彎和剪切試驗方法(IEC 62047-13-2012).德文版本EN 62047-13-201
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：半導體裝置.微機電裝置.第13部分:測量MEMS結構粘接強度的折彎和剪切試驗方法(IEC 62047-13-2012).德文版本EN 62047-13-2012
英文標準名稱：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012); German version EN 62047-13:2012
標準類型：L40
發布日期：2012/10/1 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：L40
國際標準分類號：31.080.01;31.220.01
引用標準：IEC 62047-2-2006
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