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DIN EN 62047-12-2012 半導體器件.微電機器件.第12部分:使用MEMS結構共振的薄膜材料的彎曲疲勞測試方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2

作者：百檢網時間：2021-07-19

標準號：DIN EN 62047-12-2012
中文標準名稱：半導體器件.微電機器件.第12部分:使用MEMS結構共振的薄膜材料的彎曲疲勞測試方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011
英文標準名稱：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011); German version EN 62047-12:2011
標準類型：L40
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：L40
國際標準分類號：31.080.01;31.220.01

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