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產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)

YS/T 1167-2016 硅單晶腐蝕片

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-19

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：YS/T 1167-2016
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅單晶腐蝕片
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Monocrystalline silicon etched wafers
標(biāo)準(zhǔn)類型：H82
發(fā)布日期：2016/7/11 12:00:00
實(shí)施日期：2017/1/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：H82
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：29.045
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 1550;GB/T 1555;GB/T 2828.1;GB/T 6616;GB/T 6618;GB/T 6620;GB/T 11073;GB/T 12962;GB/T 12965;GB/T 13387;GB/T 13388;GB/T 14140;GB/T 14264;GB/T 14844;GB/T 20503;GB/T 26067;GB/T 29505;GB/T 30453;YS/T 26;YS/T 28
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶腐蝕片的牌號(hào)及分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于直拉法、懸浮區(qū)熔法(包括區(qū)熔中子嬗變和氣相摻雜)制備的硅單晶研磨片經(jīng)化學(xué)腐蝕液去除表面損傷層后制備的酸腐蝕片和堿腐蝕片(以下簡稱腐蝕片)。產(chǎn)品主要用于制作晶體管、整流管、特大功率晶閘管、光電器件等半導(dǎo)體元器件或進(jìn)一步加工成硅拋光片。

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