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YS/T 23-2016 硅外延層厚度測定堆垛層錯尺寸法

作者：百檢網時間：2021-07-19

標準號：YS/T 23-2016
中文標準名稱：硅外延層厚度測定堆垛層錯尺寸法
英文標準名稱：Test method for thickness of epitaxial layers.Stacking fault size
標準類型：H21
發布日期：2016/4/5 12:00:00
實施日期：2016/9/1 12:00:00
中國標準分類號：H21
國際標準分類號：77.040
引用標準：GB/T 14264;GB/T 14847
適用范圍：本標準規定了利用堆垛層錯尺寸法測量硅外延層厚度的方法。本標準適用于在〈111〉、〈100〉和〈110〉晶向的硅單晶襯底上生長的2 μm~120 μm硅外延層厚度的測量。

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