GB/T 15909-2017 電子工業用氣體 硅烷 現行
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：電子工業用氣體 硅烷
英文標準名稱：Gas for electronic industry—Silane
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2017/5/31 12:00:00
實施日期：2017/12/1 12:00:00
中國標準分類號：浙江賽林硅業有限公司
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：西南化工研究設計院有限公司
起草人：余京松
相近標準：;GB/T 15909-2009 ;20132257-T-469 ?電子工業用氣體 硅烷
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