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GB/T 32281-2015 太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定二次離子質譜法現行

作者：百檢網時間：2021-07-19

標準號：GB/T 32281-2015
中文標準名稱：太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定二次離子質譜法
英文標準名稱：Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2015/12/10 12:00:00
實施日期：2017/1/1 12:00:00
中國標準分類號：北京合能陽光新能源技術有限公司
國際標準分類號：77.040.30
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司
起草人：薛抗美
相近標準：20120288-T-469 ?太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定二次離子質譜法; ?太陽能級硅片切割用噴砂玻璃;

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