GB/T 32278-2015 碳化硅單晶片平整度測試方法 現行
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：碳化硅單晶片平整度測試方法
英文標準名稱：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2015/12/10 12:00:00
實施日期：2017/1/1 12:00:00
中國標準分類號：中國科學院物理研究所
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：北京天科合達藍光半導體有限公司
起草人：張瑋
相近標準：20120289-T-469 ?碳化硅單晶片平整度測試方法;GB/T 30866-2014 ?碳化硅單晶片直徑測試方法;2009
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