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GB/T 32188-2015 氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法現(xiàn)行

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-19

標準號：GB/T 32188-2015
中文標準名稱：氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法
英文標準名稱：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
標準類型：國家標準
發(fā)布日期：2015/12/10 12:00:00
實施日期：2016/11/1 12:00:00
中國標準分類號：蘇州納維科技有限公司
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
起草人：任國強
相近標準：20120268-T-469 ?氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法; ?氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑測試方法;20

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