BS ISO 16700-2004 微電子束分析.掃描電子顯微鏡.圖像放大校準指南
作者：百檢網 時間：2021-07-20
中文標準名稱：微電子束分析.掃描電子顯微鏡.圖像放大校準指南
英文標準名稱：Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification
標準類型：N33
發布日期：2004/9/29 12:00:00
實施日期：2004/9/29 12:00:00
中國標準分類號：N33
國際標準分類號：37.020
適用范圍：This International Standard specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. This International Standard does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.
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