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SJ/T 11552-2015 以布魯斯特角入設P偏振輻射紅外吸收光譜法測量硅中間隙氧含量 現行

作者:百檢網 时间:2021-07-21

標準號:SJ/T 11552-2015
中文標準名稱:以布魯斯特角入設P偏振輻射紅外吸收光譜法測量硅中間隙氧含量
標準狀態:現行
標準類型:行業標準
發布日期:2015/10/10 12:00:00
實施日期:2016/4/1 12:00:00
中國標準分類號:工業和信息化部電子工業標準化研究院
國際標準分類號:29.045
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門:工業和信息化部
起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心
相近標準:SJ/T 11491-2015 ?短基線紅外吸收光譜法測量硅中間隙氧含量;SJ/T 10625-1995 ?鍺單晶中間隙氧含量的
行業分類:無

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