20141883-T-469 單基板器械位置操作處理參考位置規范 正在審查
作者：百檢網 時間：2021-07-21
中文標準名稱：單基板器械位置操作處理參考位置規范
英文標準名稱：Specification For Reference Position of Single Substrate For Handing Off On Tool
標準狀態：正在審查
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：中國電子技術標準化研究院
國際標準分類號：31.030
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：東旭集團有限公司
起草人：曹可慰
相近標準：WS 506-2016 ?口腔器械消毒滅菌技術操作規范;20075989-T-466 ?地理信息 基于位置服務 參考模型;G
標準制修訂：制訂
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