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DINEN62047-12-2012 半導體器件微電機器件第12部分:用微電機系統結構諧振進行薄膜材料的彎曲疲勞試驗方法

作者:百檢網 時間:2021-07-21

標準號:DINEN62047-12-2012
中文標準名稱:半導體器件微電機器件第12部分:用微電機系統結構諧振進行薄膜材料的彎曲疲勞試驗方法
英文標準名稱:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part12:BendingfatiguetestingmethodofthinfilmmaterialsusingresonantvibrationofMEMSstructures(IEC62047-12:2011);GermanversionEN62047-12:2011
中國標準分類號:L40
國際標準分類號:31.080.01 ? 31.220.01

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