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GB/T30701-2014 表面化學(xué)分析硅片工作標準樣品表面元素的化學(xué)收集方法和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)測定

作者:百檢網(wǎng) 時間:2021-07-23

標準號:GB/T30701-2014
中文標準名稱:表面化學(xué)分析硅片工作標準樣品表面元素的化學(xué)收集方法和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)測定
英文標準名稱:Surfacechemicalanalysis―Chemicalmethodsforthecollectionofelementsfromthesurfaceofsilicon-waferworkingreferencematerialsandtheirdeterminationbytotal-reflectionX-rayfluorescence(TXRF)spectroscopy
中國標準分類號:G04
國際標準分類號:71.040.40
被以下標準代替:ISO17331-2004,等同采用

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