SJ/T11275-2002(2017) 臥式液相外延系統(tǒng)通用規(guī)范
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-28
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：臥式液相外延系統(tǒng)通用規(guī)范
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：Genericspecificationforhorizontalliquidphaseepitaxialsystem
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：L92
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：29.26
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