GB/T 37049-2018 電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法 現行
作者：百檢網 時間：2021-07-29
中文標準名稱：電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法
英文標準名稱：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2018/12/28 12:00:00
實施日期：2019/4/1 12:00:00
中國標準分類號：青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司
國際標準分類號：77.040.30
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：江蘇中能硅業科技發展有限公司
起草人：魯文鋒
相近標準：20141873-T-469 ?電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法;20210891-T-469 ?
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