GB/T 37053-2018 氮化鎵外延片及襯底片通用規范 現行
作者：百檢網 時間：2021-07-29
中文標準名稱：氮化鎵外延片及襯底片通用規范
英文標準名稱：General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2018/12/28 12:00:00
實施日期：2019/7/1 12:00:00
中國標準分類號：合肥彩虹藍光科技有限公司
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：東莞市中鎵半導體科技有限公司
起草人：劉南柳
相近標準：20110049-T-469 ?氮化鎵外延片及襯底片通用規范;20193166-T-469 ?氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑測試方
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