YS/T 1290-2018 多晶硅生產尾氣中硅烷含量的測定 氣相色譜法 現行
作者：百檢網 時間：2021-07-29
中文標準名稱：多晶硅生產尾氣中硅烷含量的測定 氣相色譜法
標準狀態：現行
標準類型：行業標準
發布日期：2018/10/22 12:00:00
實施日期：2019/4/1 12:00:00
中國標準分類號：H17
國際標準分類號：77.040
主管部門：工業和信息化部
相近標準：DB53/T 618-2014 ?氣相色譜法測定多晶硅生產中氫化尾氣 組分含量;YS/T 1392-2020 ?氯硅烷組分含量的
行業分類：無
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