20000353-T-491 集成電路制造中的套刻檢測圖形規范
作者：百檢網 時間：2021-07-29
中文標準名稱：集成電路制造中的套刻檢測圖形規范
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國科學院微電子中心
相近標準：20153727-T-469 ?集成電路制造中套刻檢測圖形規范; ?集成電路制造中套刻檢測圖形規范;GB/T 16878-199
標準制修訂：制訂
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