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GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技術體硅壓阻加工工藝規范

作者：百檢網時間：2021-07-29

標準號：GB/T 32815-2016
中文標準名稱：硅基MEMS制造技術體硅壓阻加工工藝規范
英文標準名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
標準類型：L55
發布日期：2016/8/29 12:00:00
實施日期：2017/3/1 12:00:00
中國標準分類號：L55
國際標準分類號：31.200
引用標準：GB/T 19022;GB/T 26111;GB 50073
適用范圍：本標準規定了采用體硅壓阻工藝進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。本標準適用于硅基MEMS制造技術中基于背腔腐蝕和硅-玻璃鍵合的體硅壓阻加工工藝的加工和質量檢驗。

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