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GB/T 20726-2015 微束分析 電子探針顯微分析X射線能譜儀主要性能參數(shù)及核查方法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-29

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 20726-2015
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：微束分析 電子探針顯微分析X射線能譜儀主要性能參數(shù)及核查方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Microbeam analysis.Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
標(biāo)準(zhǔn)類型：G04
發(fā)布日期：2015/10/9 12:00:00
實施日期：2016/9/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：G04
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：71.040.99
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 21636-2008
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了表征以半導(dǎo)體探測器、前置放大器和信號處理系統(tǒng)為基本構(gòu)成的X射線能譜儀(EDS)特性*重要的性能參數(shù)。本標(biāo)準(zhǔn)僅適用于基于固態(tài)電離原理的半導(dǎo)體探測器能譜儀。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了與掃描電鏡(SEM)或電子探針(EPMA)聯(lián)用的EDS性能參數(shù)的*低要求以及核查方法。至于實際分析過程，在ISO 22309和ASTM E1508中已有規(guī)范，不在本標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi)。

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