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GB/T 24582-2009 酸浸取.電感耦合等離子質譜儀測定多晶硅表面金屬雜質

作者：百檢網時間：2021-07-29

標準號：GB/T 24582-2009
中文標準名稱：酸浸取.電感耦合等離子質譜儀測定多晶硅表面金屬雜質
英文標準名稱：Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
標準類型：H80
發布日期：2009/10/30 12:00:00
實施日期：2010/6/1 12:00:00
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
引用標準：ISO 14644-1;SEMI C28;SEMI C30;SEMI C35;ASTM D5127
適用范圍：本標準規定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質，并用電感耦合等離子質譜儀定量檢測多晶硅表面上的金屬雜質痕量分析方法。本標準適用于堿金屬、堿土金屬和**系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅以及其他元素如鋁的檢測。本標準適用于各種棒、塊、粒、片狀多晶表面金屬污染物的檢測。由于塊、片或粒形狀不規則，面積很難準確測定，故根據樣品重量計算結果，使用的樣品重量為50 g～300 g，檢測限為0.01 ng/mL。酸的濃度、組成、溫度和浸取時間決定著表面腐蝕深度和表面污染物的浸取效益。在這個實驗方法中腐蝕掉的樣品重量小于樣品的重量的1%。本標準適用于重量為25 g～5000 g的樣品的測定，為了達到仲裁的目的，該實驗方法規定樣品的重量為約300 g。

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