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GB/T 24578-2009 硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法

作者:百檢網(wǎng) 時間:2021-07-29

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 24578-2009
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-ray fluorescence spectroscopy
標(biāo)準(zhǔn)類型:H80
發(fā)布日期:2009/10/30 12:00:00
實施日期:2010/6/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號:H80
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號:29.045
引用標(biāo)準(zhǔn):GB/T 2828.1-2003;GB/T 14264-1993;SEMI MF 1526
適用范圍:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于N型和P型硅單晶拋光片、外延片等鏡面拋光的硅片,尤其適用于清洗后硅片自然氧化層,或經(jīng)化學(xué)方法生長的氧化層中沾污元素的面密度測定。本方法適用于測量面密度在(10

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