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GB/T 24468-2009 半導體設備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測量規范

作者：百檢網時間：2021-07-29

標準號：GB/T 24468-2009
中文標準名稱：半導體設備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測量規范
英文標準名稱：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
標準類型：L40;L85
發布日期：2009/10/15 12:00:00
實施日期：2009/12/1 12:00:00
中國標準分類號：L40;L85
國際標準分類號：17.040.30
引用標準：SEMI E35;SEMI E58;SEMI E79;SEMI El16
適用范圍：本標準通過提供半導體制造設備(以下簡稱設備)在制造環境下的可靠性、可用性和維修性(以下簡稱RAM)性能的測量標準，為這種設備的用戶和設備供應商建立一個交流的共同基礎。本標準定義了設備的六個基本狀態，所有的設備條件和階段都必須歸入這六個狀態。設備的狀態由功能決定，而不管是由誰來執行此功能。本規范中所涉及的設備可靠性的測量主要集中在設備失效和設備使用的關系上，而不是設備失效和設備經歷的(日歷)總時間之間的關系。本標準第5章(設備的狀態)定義了設備的時間是如何分類的，第6章(RAM測量)確定了測量設備性能的公式。第7章(不確定度測量)給出了用統計學對計算出的性能量值進行評估的方法。本標準的有效實施，要求設備的(RAM)性能可以通過設備的運行時間和周期進行跟蹤。對設備狀態的自動跟蹤不屬于本標準的范圍，它由SEMI E58所覆蓋。用戶和供應商之間的清晰有效的溝通可以促進設備性能的不斷提高。本標準中的RAM指標可以在整個設備和分系統層次上直接應用于非集群設備，也可以在分系統層次(比如工藝模塊)用于多路集群設備。

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