YS/T 1068-2015 制備釕靶用釕粉
作者：百檢網 時間：2021-07-30
中文標準名稱：制備釕靶用釕粉
英文標準名稱：Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
標準類型：H68
發布日期：2015/4/30 12:00:00
實施日期：2015/10/1 12:00:00
中國標準分類號：H68
國際標準分類號：77.150.99
適用范圍：本標準規定了硬盤及集成電路行業釕系濺射靶材用釕粉的要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書和合同(或訂貨單)內容。本標準適用于制備硬盤及集成電路行業釕系濺射靶材用釕粉(以下簡稱釕粉)。
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