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IEC 62047-25-2016 半導體器件 微電機器件 第25部分:硅基MEMS制造工藝 微焊接區(qū)的拉壓和剪切強度測量方法 A

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-30

標準號：IEC 62047-25-2016
中文標準名稱：半導體器件 微電機器件 第25部分:硅基MEMS制造工藝 微焊接區(qū)的拉壓和剪切強度測量方法
英文標準名稱：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (Edition 1.0)
標準狀態(tài)：A
標準類型：國際標準
國際標準分類號：31.080.99

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