GB/T 18193-2000 真空技術 質譜檢漏儀校準
作者：百檢網 時間：2021-07-31
中文標準名稱：真空技術 質譜檢漏儀校準
英文標準名稱：Vacuum technology-Mass-spectrometer-type leak detector calibration
標準類型：J78
發布日期：2000/9/26 12:00:00
實施日期：2001/2/1 12:00:00
中國標準分類號：J78
國際標準分類號：23.160
適用范圍： 本標準規定了質譜檢漏儀的校準程序。它僅適用于校準將靈敏元件處于高真空系統中的檢漏儀。因此這個方法沒有制訂完整的驗收試驗。 本標準規定探索氣體使用氦-4。但在適當的預防措施下，可以使用其他探索氣體，如氬-40。 本標準的應用受到檢漏儀不能測定小于10Pa·m·s漏率漏孔限制。 本標準程序提出了測定*小可檢漏率和*小可檢濃度比的兩個要點。它分別應用于高真空和壓力大于一個大氣壓的檢漏儀上。
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