標準號：GB/T 17864-1999
中文標準名稱：關鍵尺寸(CD)計量方法
英文標準名稱：CD Metrology procedures
標準類型：L56
發布日期：1999/9/13 12:00:00
實施日期：2000/6/1 12:00:00
中國標準分類號：L56
國際標準分類號：31.200
適用范圍： 本標準的目的是規定計量系統進行光刻工藝中CD圖形尺寸計量精確度的統一方法。本標準不涉及如何用這些計量系統去解決問題、也不涉及工藝中其他影響因素的變化，如大圓片的熱處理、曝光機的聚焦控制、以及材料等。 計量或測量是生產活動中的基礎。**要靠它的監控來建立可行的生產能力，而后要用它來檢驗產品是否符合規范或設計指標。 本標準討論的參數是精確度。可靠性和線性度等其他的重要參數將在其他的標準中介紹。 本標準說明如何在集成電路大圓片制造的光刻工序這種非常特殊的應用中決定計量/測量系統的性能。本標準也適用于IC掩模制造工序，這時標準中的“大圓片”可換成“掩模”。 集成電路大圓片成品需要進行電性能測量。但在光刻工藝的中間測量，有助于預估和控制*后成品的性能。本標準應用于光刻中間測量和成品測量，但與所采用的具體工藝技術無關。 測量結果與系統性能依賴于所用的樣品。所以，只有在采用同樣材料成分構成的一個樣品進行測量時，才能正確比較不同系統的性能或同一系統在不同時間的性能。