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GB/T 26067-2010 硅片切口尺寸測試方法

作者:百檢網(wǎng) 時間:2021-07-31

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 26067-2010
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅片切口尺寸測試方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers
標(biāo)準(zhǔn)類型:H17
發(fā)布日期:2011/1/10 12:00:00
實施日期:2011/10/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號:H17
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號:29.045
引用標(biāo)準(zhǔn):GB/T 2828.1;GB/T 14264
適用范圍:1.本標(biāo)準(zhǔn)定性的提供了判定硅片基準(zhǔn)切口是否滿足標(biāo)準(zhǔn)限度要求的非破壞性測試方法。本方法的測試原理同樣適用于其他切口尺寸的測量。2.本標(biāo)準(zhǔn)中物體平面尺寸為0.1mm時,通過20倍的放大后會在投影屏上形成2.0mm的影像,通過50倍放大后會產(chǎn)生5.0mm的投影。本方法可以發(fā)現(xiàn)切口輪廓上的*小尺寸細節(jié)。3.本標(biāo)準(zhǔn)不提供切口頂端的曲率半徑的測試。

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