GB/T 26113-2010 微機電系統（MEMS）技術 微幾何量評定總則
作者：百檢網 時間：2021-07-31
中文標準名稱：微機電系統（MEMS）技術 微幾何量評定總則
英文標準名稱：Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
標準類型：L55
發布日期：2011/1/10 12:00:00
實施日期：2011/10/1 12:00:00
中國標準分類號：L55
國際標準分類號：31.200
引用標準：GB/T 3505;GB/T 18779.2;GB/T 26111
適用范圍：本標準規定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規則。本標準適用于企業、研究機構、檢測機構從事微機電技術及產品的研究、設計、生產、檢測。
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