GB/T 18867-2014 電子工業(yè)用氣體 六氟化硫
作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-31
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 六氟化硫
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Gases for electronic industry.Sulphur hexaflouride
標(biāo)準(zhǔn)類型：G86
發(fā)布日期：2014/12/22 12:00:00
實施日期：2015/7/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：G86
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：71.100.20
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB 190;GB/T 3723;GB 5099;GB/T 5832.1;GB/T 5832.3;GB 7144;GB/T 8170;GB/T 12022;GB 14193;GB 15258;GB 16804;GB/T 26571;GB/T 28726-2012;氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程(2000版);危險化學(xué)品安全管理條例(2002版)
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化硫的技術(shù)要求、試驗方法、標(biāo)志、包裝、貯存及安全等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)精制和純化制備的六氟化硫。該產(chǎn)品主要用作電子工業(yè)中化學(xué)氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。分子式:SF
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