GB/T 15861-2012 離子束蝕刻機(jī)通用規(guī)范
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-31
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：離子束蝕刻機(jī)通用規(guī)范
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：General specification of ion beam etching system
標(biāo)準(zhǔn)類型：L97
發(fā)布日期：2012/11/5 12:00:00
實(shí)施日期：2013/2/15 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：L97
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.550
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 4857.7-2005;GB/T 191;GB/T 5080.7-1986;GB/T 6388-1986;GB/T 13384-1992;SJ/T 142;SJ/T 1276;SJ/T 10674
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子束蝕刻機(jī)的術(shù)語(yǔ)、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、運(yùn)輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機(jī)。其他專用離子束蝕刻機(jī)亦可參照?qǐng)?zhí)行。
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