標準號：GB/T 24579-2009
中文標準名稱：酸浸取.原子吸收光譜法測定多晶硅表面金屬污染物
英文標準名稱：Test methods for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy
標準類型：H80
發布日期：2009/10/30 12:00:00
實施日期：2010/6/1 12:00:00
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
引用標準：GB/T 11446.1-1997;ISO 14644-1
適用范圍：1. 1本標準規定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質，并用石墨爐原子吸收定量檢測多晶硅塊表面上的痕量金屬雜質分析方法。1.2本標準適用于堿金屬、堿土金屬和**系列過渡元素如鈉、鋁、鐵、鉻、鎳、鋅的檢測。1.3本標準適用于各種棒、塊、粒、片形多晶或單晶硅表面金屬污染物的檢測。由于塊、片或粒形狀不規則，面積很難準確測定，根據樣品重量計算結果。使用的樣品重量為50 g～300 g，檢測限為0.01 ng/g。1.4酸的強度、組成、溫度和浸取時間決定著表面腐蝕深度和表面污染物的浸取效率。在這個試驗方法中腐蝕掉的樣品重量小于樣品重量的1%。1.5該試驗方法提出了一種特定的樣品尺寸、酸組成、腐蝕周期、試驗環境和儀器方案，這些參數可以調整，但可能影響金屬的回收效率及滯留量。該方法適用于重量為25 g～5 000 g的樣品的測定，為達到仲裁的目的，該試驗方法規定樣品重量為300 g。該試驗方法在干擾和結果的偏差方面做了詳細說明。1.6該試驗方法詳細說明了用于分析酸提取痕量金屬含量的石墨爐原子吸收光譜法的使用。也可使用靈敏度相當的其他儀器如電感耦合等離子體/質譜儀。1.7方法的檢測限和偏差取決于酸提取過程的效率、樣品尺寸、方法干擾、每個元素的吸收譜及儀器靈敏度、背景和空白值。1.8該方法是用熱酸來腐蝕掉硅表面，腐蝕劑是有害的，操作必須在通風櫥中進行，整個過程中必須非常小心。氫氟酸溶液非常危險，不熟悉專門防護措施的人不能使用。