標準號:GB/T 24577-2009
中文標準名稱:熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物
英文標準名稱:Test methods for analyzing organic contaminants on silicon water surfaces by thermal desorption gas chromatography
標準類型:H80
發布日期:2009/10/30 12:00:00
實施日期:2010/6/1 12:00:00
中國標準分類號:H80
國際標準分類號:29.045
引用標準:ASTM D6196
適用范圍:1.1本標準規定了硅片表面的有機污染物的定性和定量方法,采用氣質聯用儀或磷選擇檢測器或者兩者同時采用。1.2本標準描述了熱解吸氣相色譜儀(TD-GC)以及有關樣品制備和分析的相關程序。1.3本標準的檢測限范圍取決于被檢測的有機化合物,比如碳氫化合物(C
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