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GB/T 13387-2009 硅及其他電子材料晶片參考面長度測量方法

作者：百檢網時間：2021-07-31

標準號：GB/T 13387-2009
中文標準名稱：硅及其他電子材料晶片參考面長度測量方法
英文標準名稱：Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
標準類型：H80
發布日期：2009/10/30 12:00:00
實施日期：2010/6/1 12:00:00
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
引用標準：GB/T 2828.1-2003;GB/T 14264-2009
適用范圍：本標準涵蓋了對晶片邊緣平直部分長度的確認方法。本標準適用于標稱圓形晶片邊緣平直部分長度小于等于65mm的電學材料。本標準僅對硅片精度進行確認，預期精度不因材料而改變。本標準適用于仲裁測量，當規定的限度要求高于用尺子和肉眼檢測能夠獲得的精度時，本標準也可用于常規驗收測量。本標準不涉及安全問題，即使有也與標準的使用相聯系。建立合適的安全和保障措施及確定規章制度的應用范圍是標準使用者的責任。

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