GB/T 14140-2009 硅片直徑測(cè)量方法
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-31
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅片直徑測(cè)量方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
標(biāo)準(zhǔn)類型：H82
發(fā)布日期：2009/10/30 12:00:00
實(shí)施日期：2010/6/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：H82
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：29.045
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 2828.1-2003;GB/T 6093-2001;GB/T 12964-2003
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用光學(xué)投影儀測(cè)量硅片直徑的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量圓形硅片的直徑，可測(cè)*大直徑為∮300mm。不適用于測(cè)量硅片的不圓度。
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