GB/T 24469-2009 電子工業用氣體.5N氯化氫
作者：百檢網 時間：2021-07-31
中文標準名稱：電子工業用氣體.5N氯化氫
英文標準名稱：Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride
標準類型：G86
發布日期：2009/10/15 12:00:00
實施日期：2009/12/1 12:00:00
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
引用標準：GB 190;GB 5099;GB/T 5832.2;GB/T 6681;GB 7144;GB 13004;GB 14193;GB 15258;GB 15382;GB/T 16942;GB/T 16943;GB/T 16944;GB 17265;定量包裝商品計量監督管理辦法;氣瓶安全監察規程;氣瓶安全監察規定;危險貨物運輸規則
適用范圍：本標準規定了電子工業用氣體5N氯化氫的技術要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、儲存、充裝、分裝和安全要求。本標準適用于以工業氯化氫為原料經凈化制得的瓶裝液化氯化氫。氯化氫主要用于微電子工業半導體器件生產中單晶硅片氣相拋光、外延和基座腐蝕工藝。也可用于硬質合金和玻璃表面處理、醫藥中間體和精細化學品制造、科學研究等領域。分子式:HCl相對分子質量:36.46l(按2005年國際相對原子質量)
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