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GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技術(shù).版圖設(shè)計基本規(guī)則

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-31

標準號：GB/T 28274-2012
中文標準名稱：硅基MEMS制造技術(shù).版圖設(shè)計基本規(guī)則
英文標準名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology.The basic regulation of layout design
標準類型：L55
發(fā)布日期：2012/5/11 12:00:00
實施日期：2012/12/1 12:00:00
中國標準分類號：L55
國際標準分類號：31.200
引用標準：GB/T 26111-2010
適用范圍：本標準規(guī)定了微結(jié)構(gòu)加工時，光刻版圖設(shè)計中圖形設(shè)計應(yīng)遵循的基本規(guī)則。本標準適用于采用接觸式單/雙面光刻、氧化擴散、化學氣相淀積（CVD）、物理氣相淀積（PVD）、離子注入、反應(yīng)離子刻蝕（RIE）、氫氧化鉀（KOH）腐蝕、硅-玻璃對準靜電結(jié)合、砂輪劃片等基本工藝方法。

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