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GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技術(shù).體硅溶片工藝規(guī)范

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-31

標準號：GB/T 28276-2012
中文標準名稱：硅基MEMS制造技術(shù).體硅溶片工藝規(guī)范
英文標準名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for dissolved wafer process
標準類型：L55
發(fā)布日期：2012/5/11 12:00:00
實施日期：2012/12/1 12:00:00
中國標準分類號：L55
國際標準分類號：31.200
引用標準：GB 50073-2001;GB/T 19022-2003;GB/T 26111-2010
適用范圍：本標準規(guī)定了采用體硅溶片加工工藝進行MEMS器件加工時應(yīng)遵循的工藝要求和工藝評價規(guī)范。本標準適用于體硅溶片工藝的加工和質(zhì)量檢驗。

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