DIN 50451-1-2003 半導(dǎo)體工藝材料檢驗(yàn).液體中痕量元素測(cè)定.用原子吸收光譜測(cè)定法測(cè)定硝酸溶劑中銀、金、鈣、銅、鐵、鉀和鈉的含量
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-02
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：半導(dǎo)體工藝材料檢驗(yàn).液體中痕量元素測(cè)定.用原子吸收光譜測(cè)定法測(cè)定硝酸溶劑中銀、金、鈣、銅、鐵、鉀和鈉的含量
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 1: Silver (Ag), gold (Au), calcium (Ca), copper (Cu), iron (Fe), potassium (K) and sodium (Na) in nitric acid by AAS
標(biāo)準(zhǔn)類型：H82
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實(shí)施日期：1999/12/31 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：H82
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：29.045
適用范圍：The document specifies a method for testing nitric acid for the relevant metal traces of silver, gold, copper, iron, potassium and sodium in trace quantities, for which the method of atomic absorption spectroscopy (AAS) with electrothermic atomizing is used. The range of application covers trace element mass fractions from 0,1 ng/g to 50 ng/g.
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