SJ/Z 2926-1988 集成電路制版設備性能測試方法
作者：百檢網 時間：2021-08-02
中文標準名稱：集成電路制版設備性能測試方法
英文標準名稱：Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs
標準類型：L97
發布日期：1988/3/10 12:00:00
實施日期：1988/10/1 12:00:00
中國標準分類號：L97
國際標準分類號：31-550
適用范圍：本指導性技術文件適用于自動刻(繪)圖機、圖形發生器、精縮照相機三類光學制版設備主要性能測試方法。測試目的在于檢查設備的技術性能指標是否達到原設計或使用要求。 本指導性技術文件未規定的性能測試方法，應在各類設備技術文件中另行規定。
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