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产品 标准

ASTM F951-1996 測定硅片徑向晶隙氧變化的標準試驗方法

作者:百檢網 时间:2021-08-03

標準號:ASTM F951-1996
中文標準名稱:測定硅片徑向晶隙氧變化的標準試驗方法
英文標準名稱:Standard Test Method for Determination of Radial Interstitial Oxygen Variation in Silicon Wafers
標準類型:L64
發布日期:1999/12/31 12:00:00
實施日期:1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號:L64
國際標準分類號:29.045 (Semiconducting materials)

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