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ASTM E1438-2006 用次級離子質譜法(SIMS)測量深度摻雜分布界面寬度標準指南

作者:百檢網 時間:2021-08-04

標準號:ASTM E1438-2006
中文標準名稱:用次級離子質譜法(SIMS)測量深度摻雜分布界面寬度標準指南
英文標準名稱:Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
標準類型:A43;H80
發布日期:1999/12/31 12:00:00
實施日期:1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號:A43;H80
國際標準分類號:29.045 (Semiconducting materials)

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