ISO 25178-604-2013 產品幾何技術規范(GPS).表面紋理:平面.第604部分:非接觸式標稱特征(連貫性掃描干涉法)儀器
作者：百檢網 時間：2021-08-04
中文標準名稱：產品幾何技術規范(GPS).表面紋理:平面.第604部分:非接觸式標稱特征(連貫性掃描干涉法)儀器
英文標準名稱：Geometrical product specifications (GPS).Surface texture: Areal.Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
標準類型：N13
發布日期：2013/8/1 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：N13
國際標準分類號：17.040.20;17.040.30
適用范圍：This part of ISO 25178 specifies the metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) systems for 3D mapping of surface height.
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