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YS/T 1024-2015 濺射用鉭靶材

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-04

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：YS/T 1024-2015
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：濺射用鉭靶材
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Tantalum sputtering targets
標(biāo)準(zhǔn)類型：H63
發(fā)布日期：2015/4/30 12:00:00
實(shí)施日期：2015/10/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：H63
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：77.150.99
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用以制備薄膜的濺射用鉭靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以真空電子束熔煉的高純鉭錠為原料，通過塑性加工、熱處理、機(jī)械加工、焊接等方法制造的濺射用鉭靶材(以下簡稱鉭靶材)。

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