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BS EN 62047-1-2006 半導體裝置.微型電機裝置.術語和定義

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-08-04

標準號：BS EN 62047-1-2006
中文標準名稱：半導體裝置.微型電機裝置.術語和定義
英文標準名稱：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Terms and definitions
標準類型：L33
發(fā)布日期：2006/9/29 12:00:00
實施日期：2006/9/29 12:00:00
中國標準分類號：L33
國際標準分類號：01.040.31;31.080.01;31.220.01
適用范圍：This part of IEC 62047 defines terms for micro-electromechanical devices including theprocess of production of such devices.

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