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DIN 50450-4-1993 半導(dǎo)體工藝材料的檢驗.運載氣體和摻雜劑氣體中雜質(zhì)的測定.用氣相色譜法測定氮氣中C1－C3烴類化合物

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-08-04

標準號：DIN 50450-4-1993
中文標準名稱：半導(dǎo)體工藝材料的檢驗.運載氣體和摻雜劑氣體中雜質(zhì)的測定.用氣相色譜法測定氮氣中C1－C3烴類化合物
英文標準名稱：Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C
標準類型：G86
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
適用范圍：This document specifies a method for the determination of the volume part of C

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