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GB/T 19444-2004 硅片氧沉淀特性的測定-間隙氧含量減少法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-08-04

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 19444-2004
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅片氧沉淀特性的測定-間隙氧含量減少法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction
標(biāo)準(zhǔn)類型：H26
發(fā)布日期：2004/2/5 12:00:00
實施日期：2004/7/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：H26
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：29.040.01
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了由測量硅片間隙氧含量的減少量來檢驗硅片氧沉淀特性的方法原理、取樣規(guī)則、熱處理程序、試驗步驟、數(shù)據(jù)計算等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)用于定性比較兩批或多批集成電路用硅片間隙氧沉淀特性。

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