GB/T 16878-1997 用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規范
作者：百檢網 時間：2021-08-04
中文標準名稱：用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規范
英文標準名稱：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
標準類型：L97
發布日期：1997/6/20 12:00:00
實施日期：1998/3/1 12:00:00
中國標準分類號：L97
國際標準分類號：31.200
適用范圍： 本規范規定若干種標準測試圖形，用以對集成電路生產中所用的微圖形設備、計量儀器和工藝進行一致的全面評估和檢測。 本規范針對線寬計量、分辨率測試和鄰近效應測試的需要，規定若干種基本測試圖形單元的形狀、一般尺寸、以及推薦的布局和設計規則。這些標準圖形包括可供光學顯微鏡、電子顯微鏡和電子探針測量用的各種圖形單元。 本規范不規定驗證母版上測試圖形關鍵尺寸的測量技術，也不規定如何測量大圓片上的光刻圖形，只規定若干種必要的基本測試圖形，以及用戶實施符合本規范的實際測試圖形。
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