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GB/T 40109-2021 表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜硅中硼深度剖析方法

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-05

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 40109-2021
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜硅中硼深度剖析方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
發(fā)布日期：2021/5/21 12:00:00
實(shí)施日期：2021/12/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：G04
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：71.040.40
歸口單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
起草人：何友琴
相近標(biāo)準(zhǔn)： ?表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜硅中硼深度剖析方法;20193156-T-469 ?表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜硅中硼深度剖析方

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