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20202892-T-469 硅單晶中氮含量的測定二次離子質譜法正在起草

作者：百檢網時間：2021-08-05

標準號：20202892-T-469
中文標準名稱：硅單晶中氮含量的測定二次離子質譜法
英文標準名稱：Test method for nitrogen content in monocrystalline silicon —Secondary ion mass spectrometry method
標準狀態：正在起草
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國電子科技集團公司第四十六研究所
相近標準： ?硅單晶中氮含量的測定二次離子質譜法; ?碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質含量的測定二次離子質譜法;20202826-T-4
標準制修訂：制訂

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